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FOCO AMARILLO :TECNOLOGÍA SUSCEPTIBLE DE LIBRE USO
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Número de publicación(PN)
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WO2003060958 A2
Más información
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Fecha de publicación internacional
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2003-07-24
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Clasificaciones
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MC:
F 26 B 19/0
ICAA:
H 01 L 21/285 (2006.01)
ICAI:
H 01 L 21/00 (2006.01)
ICCA:
H 01 F 5/00 (2006.01)
H 01 F 41/04 (2006.01)
ICCI:
H 01 L 21/00 (2006.01)
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Solicitantes
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APPLIED MATERIALS, INC.
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
UZIEL, Yoram
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Número de solicitud internacional (AN)
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PCT US 03000771
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Inventores (INV)
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UZIEL, Yoram
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Fecha de presentación internacional
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2003-01-09
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Prioridad (PR)
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US 60/347,726 2002-01-11
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Países designados (DS)
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AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG
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Título en inglés (ET)
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AIR BEARING-SEALED MICRO-PROCESSING CHAMBER
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Título en francés (FT)
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MICROCHAMBRE DE TRAITEMENT A JOINT ETANCHE CONTENANT DE L'AIR
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Resumen en inglés (AB)
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Apparatus (20) for processing a surface (21) of a substrate (22) includes a chamber (26) containing a cavity (33) that has one side that is open, the chamber (26) wall including a lip (31) surrounding the open side of the cavity (33). Gas ports, disposed within the chamber (26) wall and opening through the lip (31), emit a pressurized gas so as to create a gas cushion between the lip (31) and the surface (21) when the open side of the cavity (33) is placed adjacent to the surface (21), thus creating a seal between the cavity (33) and an environment external to the chamber (26).
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Resumen en francés (AF)
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L'invention concerne un dispositif de traitement d'une surface d'un substrat. Ce dispositif comprend une chambre contenant une cavité dont un côté est ouvert, la paroi de la chambre comportant une lèvre entourant le côté ouvert de cette cavité. Des orifices de gaz ménagés dans la paroi de la chambre et traversant la lèvre permettent d'injecter un gaz sous pression et de créer un coussin de gaz entre la lèvre et la surface lorsque le côté ouvert de la cavité est placé au voisinage de cette surface, d'où la formation d'un joint étanche entre la cavité et l'environnement extérieur à la chambre.
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